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氣體管道工程中常說的武漢氦氣檢漏(氦檢)是怎樣的?
創(chuàng)建時(shí)間:2024-01-26  ?瀏覽量:0

氦氣主圖


在氣體管道工程中,由于施工中的各種因素,在一些管道的連接處可能會有一些肉眼難以察覺的小孔,使用時(shí)會導(dǎo)致泄漏,造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中,如果發(fā)生泄漏,輸送超高純電子特殊氣體的燃?xì)夤艿拦こ虒ιa(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響,因此檢漏非常重要。


一.常說的氦檢是什么?


首先,我們要了解,氣體管道的五項(xiàng)測試是QC中最重要的一部分,這五項(xiàng)測試分別是:保壓測試、武漢氦氣檢漏測試(氦檢)、水分測試、氧分測試和顆粒測試,確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。


二.武漢氦氣是如何檢漏的呢?


眾所周知,在元素周期表中,氦(He)的相對分子質(zhì)量是除氫(H)以外最小的,是最輕的惰性氣體。氣體管道的武漢氦氣檢漏(氦檢)利用的就是這一點(diǎn)。


1.高純度散裝氣體管道武漢氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。


2.向內(nèi)檢漏法(武漢氦氣注入法)是通過內(nèi)部吸入高純度氣體管線,外部噴射武漢氦氣來進(jìn)行的


3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入武漢氦氣,并在下游抽真空


4.必須使用朝外檢漏法(吸槍法)在高純度氣體管線內(nèi)填充武漢氦氣或氦氮混合物,并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點(diǎn)


5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器,檢測精度不低于1


6.高純氣體武漢氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求:


(1)通過向內(nèi)泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s


(2)閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s


(3)向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s


7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后,必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn),合格后,再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏


8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進(jìn)行隔熱


9.系統(tǒng)測試后,用高純度氮?dú)饣驓鍤馓畛浜颓鍧?/p>


10.檢查后,應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告

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