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氫氣在電子工業中主要用于半導體、電真空材料、硅晶片、光導纖維生產等領域。在電子工業中，氫和氧作為熱處理氣氛氣和過程氣而廣泛使用。這些氣體的純度對產品的好壞影響很大，需要高純氫和氧。一般情況下，氫氣是通過一次純化食鹽電解或石油化工精制副產氣，然后高壓充入鋼瓶等而供給的。氧氣是在液化空氣狀態下，經深冷分離后供給的，在用戶工廠經汽化后使用。由于這些生產方法所生產的氫和氧氣中的氮、二氧化碳、一氧化碳、碳氫化合物等雜質不能完全除掉，在半導體等工廠中， 還設置幾十立方米/小時的終端純化裝置，進行 2次終端純化后才能使用。

鎢鉬等金屬廣泛應用于電真空材料和合金制品中。在鎢和鉬的生產過程中，用氫氣還原氧化物得到粉末，再加工制成線材和帶材。氫氣純度越高，特別是水含量越低，還原溫度就越低，所得鎢、鉬粉末粒度就越細。

光導纖維石英光纖的制造主要包括玻璃體預制棒制備及拉絲兩道工序，在制棒工藝中采用氫氧焰加熱(1200～1500℃)，經沉積，可獲得所需沉積層厚度，再經燒灼，制成光纖預制棒。對氫氧焰氣體要求無固體粒子，否則棒上會有黑斑產生。預制棒直徑約為130mm，長度為900mm，它可拉制長為200km以上的玻璃光纖電子工業用氫多為純氫或高純氫，用量小，一般企業用量從幾十立方米~幾百立方米/小時。