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電子混合氣體和計量學上的電光源標準氣有許多相似的特點，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要氣體具有優良的品質，換言之，電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質不能高于某值。在8in以上的IC生產線，也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。

1、電子混合氣體的氣瓶處理

同其他氣體不同，對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴格，否則，即便是混合氣體配制的準確度再高，穩定性再好也無法使用。

首先混合氣體的氣瓶幾何尺雨如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導體等領域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內使用，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。對于不同種類的混合氣在氣瓶色標、警示標志等方面國外已有極其詳細的標準，如美國的CGA、歐盟的ISO等，我們國家在此方面仍在認識和完善中。

2、電子混合氣體配制裝置技術要求

同其他電光源標準氣制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP級別，材質為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優于0.25級，材質316L。為確保配制裝置不產生污染使用前要求系統。

電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣：N2,H2,He,Ar,O2;組分氣：PH3,SiH4,B2h6,Sih6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質的含量，設有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99.9999%，在凈化器的出口設有在線H2O,O2檢測儀表，隨時反映凈化器出口氣體關鍵雜質的含量，這此凈化器內置氣體過濾器。