磷烷
產(chǎn)品詳情
作用
在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
PH3 ，易燃、易爆、劇毒，其毒性 數(shù)為：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，屬劇毒危害品。
應(yīng)急處理處置
一、泄漏應(yīng)急處理
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并立即隔離450米，嚴格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構(gòu)筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如有可能，將漏出氣用排風(fēng)機送至空曠的地方或裝設(shè)適當(dāng)噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
二、防護措施
呼吸系統(tǒng)防護：正常工作情況下，佩帶過濾式防毒面具(全面罩)。高濃度環(huán)境中，必須佩戴空氣呼吸器或氧氣呼吸器。緊急事態(tài)搶救或撤離時，建議佩戴空氣呼吸器。
眼睛防護：戴化學(xué)安全防護眼鏡。
身體防護：穿面罩式膠布防毒衣。
手防護：戴橡膠手套。
其它：工作現(xiàn)場嚴禁吸煙、進食和飲水。工作畢，淋浴更衣。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。進入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護。
三、急救措施
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
滅火方法：消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風(fēng)處滅火。切斷氣源。若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑：霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳。
