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十堰高純氣體管道十堰高純氦氣檢漏方法

1.十堰高純散裝氣體管道十堰高純氦氣檢漏方法應采用向內檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內檢漏法（十堰高純氦氣注入法）是通過內部吸入十堰高純氣體管線，外部噴射十堰高純氦氣來進行的。

3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入十堰高純氦氣，并在下游抽真空。

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在十堰高純氣體管線內填充十堰高純氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點。

5.氦檢漏儀必須是質譜氦檢漏器，檢測精度不低于1

6.十堰高純氣體十堰高純氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求：

6.1通過向內泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s；

6.2閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s；

6.3向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發現的泄漏點修復后，必須重新進行氣密性試驗，合格后，再按規定進行氦檢漏。

8.所有可能的泄漏應使用塑料袋進行隔熱。

9.系統測試后，用十堰高純氮氣或氬氣填充和清潔。

10.檢查后，應提交試驗報告。