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什么是電子特氣？

電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業生產中不可或缺的原材料。電子特氣種類眾多，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”，決定了器件的最終良率和可靠性。電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎化工產業，下游在集成電路、面板、LED等領域的各個工藝環節均有多種用途。電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料，2021年，電子特氣在集成電路中的應用占比達43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應用環節包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。

常見的電子特氣有哪些？

高純度的C4F6、SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等.為了保證半導體器件的質量與成品率，特種氣體產品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N，作為特種氣體的核心參數，純度每提升一個N，粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數量級，都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。（N 是 Nine 的簡寫，幾個 N 就代表有幾個 9，例如 3N 的純度99.9%），“超凈”即要求嚴格控制粒子與金屬雜質的含量。目前國內企業普遍做到5-6N，而林德和法液空等海外領先企業技術可達6-9N。山東中天科技有限公司可進行電子級氟化氫、氟氣、六氟丁二烯、六氟丙烷、乙硼烷、乙硅烷、三氯氫硅、三甲基硅烷、電子級氯氣、四氯化硅等產品的設計工作，山東中天可以實現前期設計、過程跟蹤、后期優化的“一站式”設計服務。秉承客戶至上，為客戶提供優質的產品和高質量的服務的公司使命，融入到與客戶的共贏發展中去；著力打造外塑形象、內強技術，在較短的時間內拿出優秀的設計，把我院打造成全國乃至國際精細化工及高端材料產業設計的主力軍。

市場如何？

2016年中國的特種氣體市場規模為156億元，至2020年達到282億元，2016-2020年期間中國特種氣體市場平均增速達15%以上，增速明顯.有機構預測2020年之后仍將保持以15%以上高速增長趨勢，2025年中國特氣市場有望達到691億元的規模。同時，國內電子特氣行業技術研發穩步推進，有望實現進口替代。2020年全球電子氣體市場規模58.5億美元，預計在2025年將超過80億美元，年復合增速達到6.5%。國產電子特氣市場未來將有較大增長空間。