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氣體管道工程中常說的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣的？

在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會有一些肉眼難以察覺的小孔，使用時會導(dǎo)致泄漏，造成事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)中，

如果發(fā)生泄漏，輸送超高純電子特殊氣體的燃氣管道工程將對生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此檢漏非常重要。

一.常說的氦檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項測試是QC中最重要的一部分，這五項測試分別是：保壓測試、氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統(tǒng)的

品質(zhì)達到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。

二.氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對分子質(zhì)量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點。

1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（氦氣注入法）是通過內(nèi)部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來進行的

3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣，并在下游抽真空

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內(nèi)填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點

5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器，檢測精度不低于1

6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

（1）通過向內(nèi)泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s

（2）閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點修復(fù)后，必須重新進行氣密性試驗，合格后，再按規(guī)定進行氦檢漏

8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進行隔熱

9.系統(tǒng)測試后，用高純度氮氣或氬氣填充和清潔

10.檢查后，應(yīng)提交試驗報告